喷嘴、基板处理装置以及基板处理方法.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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喷嘴、基板处理装置以及基板处理方法.pdf

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本发明涉及喷嘴、基板处理装置以及基板处理方法。能够在使用流体与处理液的混合流体的液处理中将流体与处理液高效地混合。喷嘴是将包含加压后的纯水的蒸气或雾沫的流体与至少包含硫酸的处理液混合并喷出的喷嘴。喷嘴具备第1喷出口、第2喷出口以及导出路。第1喷出口喷出流体。第2喷出口喷出处理液。导出路与第1喷出口以及第2喷出口连通，用于导出从第1喷出口喷出来的流体和从第2喷出口喷出来的处理液的混合流体。另外，第1喷出口或第2喷出口配置为在平面视角下朝向自导出路的中心轴线偏离的位置。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116264174 A (43)申请公布日 2023.06.16 (21)申请号 202211551531.0 (22)申请日 2022.12.05 (30)优先权数据 2021-202225 202