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一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种三维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法.pdf

    一种三维解耦力触觉传感器，包括玻璃基底和设于玻璃基底上的敏感块；以敏感块的中心为原点、长宽高作为XYZ轴，敏感块的X轴正向方和Y轴正方向均设有位移电极组件，敏感块的X轴负方向和Y轴负方向均设有支撑组件；敏感块的Z轴正方向设有顶电极，Z轴负方向设有底电极；位移电极组件包括位移基板、两个弹性梁、U形支撑侧台和限位块，位移基板设有上电极；玻璃基底内设有下电极；上电极与相应的下电极、顶电极与底电极形成平行板电容器；敏感块受力可改变平行板电容器的电容值。本发明的传感器体积小，通过受力时平行板电容器组电容值

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113280967 B (45)授权公告日 2022.04.08 (21)申请号 202110499184.0 B81C 1/00 (2006.01)

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