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基板保持装置.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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基板保持装置.pdf

    本发明提供能够适当地保持基板的基板保持装置。上述基板具有：被电镀部，暴露于电镀液；以及边缘部亦即上述被电镀部的外侧区域。上述基板保持装置具备：把持模块，用于通过与基板的上述边缘部接触来把持基板；吸引模块，用于吸引并保持基板的上述被电镀部；以及凸部，设置于基板中的与上述被电镀部对应的位置，比上述吸引模块向被上述基板保持装置保持的基板突出。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113279040 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110189050.9 C25D 21/12 (2006.01) (22)申请日 2

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