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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明提供了一种二维材料制备方法，属于二维材料制备的技术领域，将前驱体置入石英管内，将生长衬底固定到石墨工件贯通扁槽内；载气以第一流速条件通入所述石英管并以第二流速条件通过石墨工件贯通扁槽，所述第一流速条件为石墨工件贯通扁槽外载气流速，所述第二流速条件为石墨工件贯通扁槽内载气流速，所述第一流速条件大于所述第二流速条件；通过控制第一流速条件和第一温度条件，使得石墨工件贯通扁槽内流场和温场相比石墨工件外在空间分布上更为均匀。使用本发明提供的二维材料制备方法可以在石墨工件贯通扁槽内获得面积较大且均匀生
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113265647 B
(45)授权公告日 2023.04.11
(21)申请号 202110594133.6 C23C 16/455 (2006.01)
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