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冷却治具及基板磨边方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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冷却治具及基板磨边方法.pdf

    本申请提供了一种冷却治具和基板磨边方法，冷却治具，包括：承接部，所述承接面用于通过顶面承接基板，所述基板的至少一个边框位于所述顶面外；多个冷却部，连接于所述承接部，所述冷却部上形成有冷却槽，所述冷却槽内置有冷却液，所述冷却液的液面高于所述承接部的顶面，使所述基板位于所述顶面外的边框至少有部分位于浸入所述冷却液内。冷却治具用于对基板的边框的底侧进行冷却，使基板在磨边时，上下两侧都得到较好的冷却，避免崩边等情况出现。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113263446 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110678877.6 (22)申请日 2021.06.18 (71)申请人 TCL华星光电技术有限公司

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