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- 2023-06-17 发布于四川
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本公开实施例提供一种蒸发源装置及其蒸镀方法、蒸镀系统。蒸发源设备，包括：坩埚，用于容纳蒸镀材料；喷嘴，位于坩埚的一侧，喷嘴与坩埚连通；蒸镀材料收集装置，位于坩埚的朝向喷嘴的一侧，蒸镀材料收集装置设置有与喷嘴相匹配的第一开孔，喷嘴贯穿第一开孔，蒸镀材料收集装置至少被配置为延长蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴的时间。采用本公开实施例中的蒸发源设备进行蒸镀过程中，蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴的时间被延长，可以减少不必要的开腔作业，减少材料浪费，提高稼动率，提升产能及良率，有利于待蒸镀基板上沿蒸发源方向成膜的均匀性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113265621 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110693618.0 (51)Int.Cl.
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