超导量子比特结电阻测量方法及系统.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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超导量子比特结电阻测量方法及系统.pdf

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本发明公开了超导量子比特结电阻测量方法及系统。包括将第一探针和第二探针中的一者与第一电极表面的第一氧化层接触，基于压力监测将另一者恰好扎入第一氧化层并与第一电极接触；通过第一探针和第二探针将第一氧化层电击穿；将第三探针和第四探针中的一者与第二电极表面的第二氧化层接触，基于压力监测另一者恰好扎入第二氧化层并与第二电极接触；通过第三探针和第四探针将所述第二氧化层电击穿；在第一探针和第二探针中的另一者与第三探针和第四探针中的另一者之间测量电阻。通过上述方式，探针到位更为精确，再借助于对氧化层实施电击穿

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116263477 A (43)申请公布日 2023.06.16 (21)申请号 202210590067.X (22)申请日 2022.05.27 (66)本国优先权数据