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本发明关于一种用于微光刻的投射光学单元以及一种制造结构化部件的方法。一种用于微光刻的投射光学单元包含多个反射镜，其用于将成像光(301、510、601、701、801)沿着从位于物面(OP)上的物场(5)到位于像面(IP)上的像场(9)的成像光束路径引导，其中数值孔径(NA)具有大于0.5的数值，其中多个反射镜包含用于掠入射的至少三个反射镜(GI反射镜)，其使中心物场点的主射线以大于45°的入射角偏转，其中从物场到像场通过操作中的投射光学单元(7、300、500、600、700、800)的不同偏
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114008532 A
(43)申请公布日 2022.02.01
(21)申请号 202080044731.X (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
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