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- 2023-06-17 发布于四川
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本公开提供了一种环形结构酒杯模态射频微机电谐振器，包括：工作在酒杯模态下的呈环形结构的谐振单元；支撑单元，与所述谐振单元的位移节点耦合，用于支撑所述谐振单元悬空；电极，设置于所述谐振单元外围；其中，所述电极与所述谐振单元具有一间隙层，用于所述谐振单元与所述电极之间的机电转换。所述环形结构酒杯模态射频微机电谐振器相比于现有技术的谐振器，热弹性损耗更低，Q值更高，插入损耗更低、高频率稳定性更高，放宽了后级放大电路的增益需求，系统功耗及噪声更低，器件尺寸更小，更有利于器件大规模低成本生产，可用于构建射
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113271080 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110543094.7
(22)申请日 2021.05.18
(71)申请人 中国科学院半导体研究所
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