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本发明公开一种向大气中引出离子束的光束加工装置，其包括：柱部，具有内部空间，在下端形成用于向外部释放生成于内部的离子束的光圈；O型圈，插入于在光圈的周围所形成的凹槽，以防止空气流入；试样台，用于以使离子束照射到试样的方式放置试样；狭缝，形成在光圈与O型圈之间，用于吸入空气或供给预设气体；以及处理器，使柱部向试样台的方向移动，以使光圈与试样相接触，通过狭缝吸入由O型圈、试样及光圈形成的区域内部的空气来提高区域的真空度，当离子束的加工完成时，使柱部向上部方向移动并通过狭缝向试样台的方向排出预设气体，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116263382 A
(43)申请公布日 2023.06.16
(21)申请号 202211349800.5 (51)Int.Cl .
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