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用于晶圆的滑道机构.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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用于晶圆的滑道机构.pdf

    本申请公开了一种用于晶圆的滑道机构，包括导流板，导流板的上端面并排凹设有若干流道，导流板沿流道的流动方向方向逐渐向下倾斜，流道内沿流道流动方向依次设有若干挡块，导流板的底部固定有多个水槽，导流板的上端面凹设有若干与水槽连通的进水孔，水槽与外部供水装置连接。该滑道机构通过导流板上均匀的出水孔在流道及导流板上形成水膜，使得晶圆悬浮在导流板上，避免滑道对晶圆造成损坏，同时流道内的挡块对水流进行阻碍限速，能更好的在导流板表面形成水膜，产生向上的浮力托举晶圆避免晶圆停留在导流板上，防止晶圆滑动不顺畅的现象

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113270351 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110572949.9 (22)申请日 2021.05.25 (71)申请人 张家港市超声电气有限公司

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