激光用腔装置、气体激光装置和电子器件的制造方法.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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激光用腔装置、气体激光装置和电子器件的制造方法.pdf

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激光用腔装置可以具有：电介质的管；内电极，其沿着管的长度方向延伸，被配置于管的贯通孔内；外电极，其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部，该接触板沿着管的长度方向延伸，与管的外周面接触，该多个条部件的一端与接触板连接，该多个条部件沿着接触板的长度方向并列设置；以及板簧，其沿着管的长度方向延伸，将外电极按压于管，板簧包含被缝划分的多个板簧片，该缝是从沿着管的长度方向的缘部切出的，板簧片包含沿着缘部折曲的折曲部，在比折曲部靠缘部侧按压条部件。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113287235 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 201980088626.3 (51)Int.Cl.