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一种供气系统及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种供气系统及其制作方法.pdf

    本申请涉及真空布气的领域，尤其是涉及一种供气系统及其制作方法，其中，一种供气系统包括内管与套设于内管外的外管，所述内管与外管贴合，所述内管外壁开设有通气槽；所述内管上开设有进气口，所述外管上开设有至少两个出气口，所述通气槽一端与进气口连通，另一端与出气口连通；所述通气槽上进气口与各出气口之间形成的通气通道的长度相等。本申请的供气系统供气更加均匀，具有提高基体品质的效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113265628 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110608791.6 (22)申请日 2021.06.01 (71)申请人 深圳市创基真空科技有限公司

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