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2023-06-17 发布于四川
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气相生长装置.pdf

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实施方式的气相生长装置具备：反应室；设于反应室之上且被导入第一工艺气体的第一气体室；多个第一气体导管，从第一气体室向反应室供给所述第一工艺气体，具有规定的长度；以及第一调整导管，插入于多个第一气体导管中的至少一个第一气体导管的上侧，第一调整导管具有在上端部的外周设置的环状的凸部，能够从第一气体导管取下。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113287188 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202080008842.5 (74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司