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MEMS扬声器及其制造方法以及电子设备.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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MEMS扬声器及其制造方法以及电子设备.pdf

    本发明提出一种MEMS扬声器及其制造方法以及电子设备，该MEMS扬声器具有较好的性能。该扬声器的执行器具有多个按振动方向平行排布的条形分支，所述条形分支的硅基骨架的具有层叠结构的侧面与相邻侧面的夹角在70°至110°之间或者在80°至100°之间；并且/或者，所述硅基骨架的具有层叠结构的侧面的粗糙度小于100nm或小于10nm。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113286238 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110388983.0 (22)申请日 2021.04.12 (71)申请人 诺思（天津）微系统有限责任公司

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