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- 2023-06-17 发布于四川
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一种衬底处理系统包括边缘计算设备，其包含有处理器，该处理器执行储存于存储器中的指令，以处理由衬底与衬底处理系统的部件的至少一者的相机所捕获的图像或视频。该部件与在衬底处理系统的处理室之间或衬底处理系统与第二衬底处理系统之间运送衬底的机械手相关联。相机沿着衬底的行进路径设置。指令将处理器配置成通过网络将第一数据从图像传送至远程服务器，并通过网路从远程服务器接收第二数据，以响应于传送第一数据至远程服务器。指令将处理器配置成根据第二数据以自动化或自主方式操作衬底处理系统。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114450780 A
(43)申请公布日 2022.05.06
(21)申请号 202080068163.7 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263
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