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- 2023-06-18 发布于四川
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本实用新型公开了一种镀膜设备。镀膜设备包括主体、第一汇流管和多个第二汇流管。主体具有环绕呈环形的侧壁，主体设置有多个第一导气孔，各第一导气孔沿主体的周向均匀分布于侧壁。第一汇流管设置有第一合流口和多个第一分流口，第一合流口用于连接出气装置或者吸气装置，第一合流口和各第一分流口分别连通第一汇流管，第一合流口至各第一分流口之间的管线长度相等，第二汇流管用于第一分流口与第一导气孔连通并使得第一合流口至分别对应连通的第一导气孔的管线长度相同。通过应用第一汇流管对输送或者抽吸的气体进行配气，能够使得气体的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219195128 U
(45)授权公告日 2023.06.16
(21)申请号 202320178735.8
(22)申请日 2023.01.18
(73)专利权人 深圳市原速光电科技有限公司
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