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光刻胶形成设备.pdfVIP

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  • 2023-06-18 发布于四川
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光刻胶形成设备.pdf

    本申请公开一种光刻胶形成设备，其中光刻胶形成设备包括旋转吸盘和热量调节设备；所述旋转吸盘用于承载晶圆，并向所承载的晶圆表面旋涂初始膜层；所述热量调节设备设于所述晶圆的至少一侧，用于调节光刻胶的受热状态。本申请得到的光刻胶表面平整，采用上述光刻胶进行后续光刻等工艺，能够精准地进行相关工艺控制，提升对应工艺的质量。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219202126 U (45)授权公告日 2023.06.16 (21)申请号 202320015887.6 (22)申请日 2023.01.04 (73)专利权人 福建省晋华集成电路有限公司 地址

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