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- 2023-06-19 发布于四川
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本发明涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及转动机构及其真空镀膜机。真空镀膜机的转动机构，用于带动待镀膜件相对靶面运动，待镀膜件具有相邻设置的第一边和第二边，第一边的长度大于第二边的长度；转动机构包括驱动件、传动单元、主动自转单元以及从动自转单元，驱动件连接于传动单元；主动自转单元包括第一转轴及第一椭圆形齿轮，从动自转单元包括第二转轴及第二椭圆形齿轮，第一转轴与传动单元配合，第一椭圆形齿轮固定于第一转轴，第二椭圆形齿轮固定于第二转轴并用于承载待镀膜件，第二椭圆形齿轮和第一椭圆形齿轮啮合。一种真空镀膜机
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113278944 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110568577.2
(22)申请日 2021.05.25
(71)申请人 深圳市鼎信表面处理科技有限公司
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