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- 2023-06-19 发布于四川
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本发明属于碳基涂层技术领域。本发明提供了一种类富勒烯纳米结构含氢碳膜的制备方法，将预处理的金属基体置于真空条件后通入氩气，在氩气气氛下进行活化处理；将活化处理的金属基体在氩气气氛下沉积过渡层，得到含过渡层的金属基体；通入混合气体，在过渡层上沉积类富勒烯纳米颗粒，得到类富勒烯纳米结构含氢碳膜；混合气体包含流量比为1：0.5～0.8：1～3的氩气、氢气和碳氢气源。本发明的类富勒烯纳米结构含氢碳膜的摩擦系数显著减小，耐磨性能和耐磨寿命显著提高，具有优异的减摩抗磨作用；含氢碳膜具有高硬度和高韧性，与金属
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113278939 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110571745.3
(22)申请日 2021.05.25
(71)申请人 兰州
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