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- 2023-06-19 发布于四川
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本发明提供了一种旋转偏振器件光谱椭偏仪的数据分析方法及系统，属于精密光学测量仪器领域，方法包括：将各理论参数以及待测样件的预估膜厚输入至旋转偏振器件光谱椭偏仪的系统模型中，获取包含理论傅里叶系数的系统方程；采用旋转偏振器件光谱椭偏仪测量待测样件，获取包含测量傅里叶系数的系统方程；采用Hadamard分析方法，获取全光谱范围内的测量傅里叶系数和理论傅里叶系数；采用非线性迭代拟合方法对全光谱范围内的测量傅里叶系数和理论傅里叶系数进行拟合，获取待测样件的光学信息。本发明可一次测量得到全光谱范围内的待测
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113281268 B
(45)授权公告日 2022.08.16
(21)申请号 202110602165.6 审查员 翁永超
(22)申请日 2021.05.31
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