原创力文档- 18
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- 2023-06-19 发布于四川
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本发明涉及一种大行程压电精密位移平台与控制方法，属于精密机械领域。该位移平台由基座、导轨a、动子a、导轨b、动子b和载物台组成。导轨a和导轨b固定连接在基座上；动子a通过滑块a安装在导轨a上；动子b通过滑块b安装在导轨b上；载物台固定连接在动子a的过渡板a和动子b的过渡板b上。该位移平台基于粘滑原理和压电驱动技术设计，具有结构简单、响应快、控制方便、定位精度高、行程大等特点，且采用动子与驱动机构一体结合的结构，克服了现有压电驱动器行程有限的问题，在较大行程范围内具备稳定的驱动能力。可用于精密测量
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113285629 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110591211.7
(22)申请日 2021.05.28
(71)申请人 王馗沣
地址 130
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