原创力文档- 20
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- 2023-06-19 发布于四川
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本发明提供一种ITO旋转靶材表面制备工艺，首先对ITO旋转靶胚进行粗磨、内圆磨和端磨，再通过自动循环水抛光设备抛光，控制芯轴转速50‑500转/min，水磨砂带转速500‑5000转/min，左右移动速度1‑20mm/s，控制表面冷却水流量1‑50L/min，抛光遍数1‑50，再清洗烘干，制得的ITO旋转靶材光洁度Ra0.1‑0.6um，抛光尺寸精度可控制0.1mm内。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113275951 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110577680.3
(22)申请日 2021.05.26
(71)申请人 芜湖映日科技股份有限公司
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