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一种基于PDMS材料的常闭式气动压力开关，属于微流控技术领域，具体涉及一种气动压力开关阀。解决了现有基于PDMS的微阀都需要通过外接控制气压，限制了基于PDMS微阀的使用范围及集成度的问题。本发明的PDMS薄膜设置在阀体和基底之间；阀体、PDMS薄膜和基底的形状相同；阀体侧面的中心开设有第一凹槽，所述阀体的中心固定有出气筒，所述阀体的中心还开有圆形通孔，所述圆形通孔与出气筒的固定端对应；出气筒的自由端高出阀体的底面；阀体的底面还开有第一气体流道，基底的顶面中心开有第二凹槽，基底的顶面还开有沿第二
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113280187 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110547302.0
(22)申请日 2021.05.19
(71)申请人 哈尔滨工业大学
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