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本申请公开了一种互连结构及其形成方法，该方法包括：提供衬底，衬底包括有源区；在衬底上形成介质层，介质层具有贯穿介质层的开口，开口暴露有源区的表面；在开口的底部形成第一金属层；形成第一金属层之后，对第一金属层中的顶部区域进行钝化处理，形成第一阻挡层；在所述第一阻挡层之后，进行退火处理，使开口底部剩余的第一金属层与有源区表面的材料反应以形成金属硅化物层；在形成金属硅化物层之后，在第一阻挡层的表面、开口的侧壁形成第二阻挡层；以及在形成第二阻挡之后，在开口中形成填满开口的第二金属层。本申请所公开的互连结
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113314454 A
(43)申请公布日
2021.08.27
(21)申请号 20201
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