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一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-20 发布于四川
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一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种柔性热对流式加速度传感器及其制备方法，传感器包括柔性衬底、柔性密封顶盖、S形加热元件、S形感温元件以及吸热薄层；柔性顶盖设置于柔性衬底上，两者之间形成密封腔体；S形加热元件固定在密封腔体内的柔性衬底中央；两个S形感温元件固定在密封腔体内的柔性衬底上，并对称分布在S形加热元件的两侧；吸热薄层紧密贴附于密封腔体内部的S形加热元件上；其中，柔性密封顶盖带有热绝缘岛结构，两个热绝缘岛结构沿长轴线对称分布在柔性密封顶盖的顶部内侧面上，并分布于S形加热元件与S形感温元件之间的上方。本发明的加

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113325198 B (45)授权公告日 2022.04.29 (21)申请号 202110640448.X (56)对比文件

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