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本发明公开了一种二硫化钼/二硫化钨红外双色探测器及其制备方法,所述探测器包括蓝宝石衬底、MoS2层、WS2层和金电极,蓝宝石衬底上生长MoS2层,MoS2层上生长WS2层,金电极设置在MoS2层和WS2层上,具体制备方法如下:一、利用磁控溅射技术在蓝宝石衬底上生长MoS2层;二、利用CVD技术在MoS2层上生长WS2层;三、利用磁控溅射技术在MoS2层和WS2层表面蒸镀金电极。本发明利用WS2层与MoS2层构成超晶格,通过调节厚度,在超晶格中形成多个子带能级,能级带隙满足中波双色红外探测要求,当
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113299779 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110580063.9
(22)申请日 2021.05.26
(71)申请人 哈尔滨工业大学
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