一种二硫化钼/二硫化钨红外双色探测器及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-20 发布于四川
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一种二硫化钼/二硫化钨红外双色探测器及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种二硫化钼/二硫化钨红外双色探测器及其制备方法，所述探测器包括蓝宝石衬底、MoS2层、WS2层和金电极，蓝宝石衬底上生长MoS2层，MoS2层上生长WS2层，金电极设置在MoS2层和WS2层上，具体制备方法如下：一、利用磁控溅射技术在蓝宝石衬底上生长MoS2层；二、利用CVD技术在MoS2层上生长WS2层；三、利用磁控溅射技术在MoS2层和WS2层表面蒸镀金电极。本发明利用WS2层与MoS2层构成超晶格，通过调节厚度，在超晶格中形成多个子带能级，能级带隙满足中波双色红外探测要求，当

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113299779 A (43)申请公布日 2021.08.24 (21)申请号 202110580063.9 (22)申请日 2021.05.26 (71)申请人哈尔滨工业大学

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