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本发明涉及一种ZnSn合金靶材及其制备方法。ZnSn合金靶材的制备方法，包括如下步骤：将Zn粉末和Sn粉末混合均匀，得到混合粉体；对混合粉体进行预压成型，压力为400T以上并保压处理，得到ZnSn合金毛坯；采用冷等静压的工艺对ZnSn合金毛坯进行强化处理，得到ZnSn合金靶坯；以及对ZnSn合金靶坯进行绑定成型，得到ZnSn合金靶材。本发明技术方案的ZnSn合金靶材的制备方法，采用粉末状态的原料Zn和Sn，之后先将混合粉体预压得到具有初步形状的ZnSn合金毛坯，再采用冷等静压进行强化处理，能够得
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113308672 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202110403534.9
(22)申请日 2021.04.15
(71)申请人 基迈克材料科技（苏州）有限公司
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