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一种具有多孔结构磨合层的DLC复合薄膜及其制备工艺.pdfVIP

一种具有多孔结构磨合层的DLC复合薄膜及其制备工艺.pdf

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    本发明公开了一种具有多孔结构磨合层的DLC复合薄膜的制备工艺，包括以下步骤：对待涂层的零件基材表面进行预处理；在零件基材表面依次沉积Cr结合层、Cr/WC过渡层、WC‑C:H过渡层；采用PECVD技术在所述WC‑C:H过渡层表面沉积含氢DLC层；通入乙炔和惰性气体，在偏压恒压脉冲模式下在所述含氢DLC层背离所述WC‑C:H过渡层的表面沉积多孔碳基磨合层。本发明利用表面具有大量的孔隙的碳基磨合层，储存润滑介质，为摩擦提供润滑性的碳源，降低摩擦系数，在短时间内达到磨合效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113278915 B (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202110827785.X C23C 14/06 (2006.01)

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