检查装置用夹具、检查装置、检查成套设备及利用其的对象物检查方法.pdfVIP

检查装置用夹具、检查装置、检查成套设备及利用其的对象物检查方法.pdf

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本公开的实施例的检查装置以能够引入及引出夹具且检查安放在所述夹具的检查对象物的方式构成。所述检查装置包括:移送部,所述移送部以使所述夹具移动的方式构成;及夹持驱动部,所述夹持驱动部包括加压部并以能够接触并加压于所述夹具的方式构成,所述加压部以能够向夹持方向及作为所述夹持方向的相反方向的脱夹方向移动的方式构成。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113330272 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202080010629.8 (74)专利代理机构 北京青松知识产权代理事务

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