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本发明提供能够将基片和边缘环定位的定位装置、处理系统和定位方法。本发明的一个方式的定位装置包括：保持基片的基片保持台；保持边缘环的第一保持销；在上述第一保持销以外另设的、保持上述边缘环的第二保持销；使上述基片保持台和上述第一保持销旋转的旋转机构；使上述第一保持销和上述第二保持销的至少一者升降的升降机构；以及检测机构，其检测保持在上述基片保持台的上述基片的外周的位置和保持在上述第一保持销的上述边缘环的内周的位置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113310402 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202110187417.3
(22)申请日 2021.02.18
(30)优先权数据
2020-0319
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