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2023-06-20 发布于四川
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本发明实施例提供一种铁电装置结构。铁电装置结构包括多个铁电电容器的阵列、多个第一金属内连线结构以及多个第二金属内连线结构，多个铁电电容器的阵列位于基板上，多个第一金属内连线结构电性连接铁电电容器的阵列的每一第一电极至埋置于介电材料层中的第一金属垫，多个第二金属内连线结构电性连接铁电电容器的阵列的每一第二电极至埋置于介电材料层中的第二金属垫。第二金属垫及第一金属垫与基板垂直隔有相同的垂直分隔距离。沿着第一水平方向横向延伸的第一金属线路可电性连接第一电极至第一金属垫，沿着第一水平方向横向延伸的第二金

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113314432 A (43)申请公布日 2021.08.27 (21)申请号 202110156779.6 (22)申请日 2021.02.04 (30)优先权数据 16/852,66

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