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一种能够保持清洗辊清洁的晶圆清洗系统及清洗方法.pdfVIP

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  • 2023-06-20 发布于四川
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一种能够保持清洗辊清洁的晶圆清洗系统及清洗方法.pdf

    本发明公开了一种能够保持清洗辊清洁的晶圆清洗系统及清洗方法，所述晶圆清洗系统包括：晶圆支撑部，其水平支撑晶圆并驱动晶圆旋转；清洗辊，其设置于晶圆的两侧并绕其轴线滚动；供液管，其设置于晶圆的侧部以朝向晶圆表面喷射清洗液；冲洗管及其摆动驱动部，所述冲洗管平行于所述清洗辊设置并位于晶圆的两侧，其上配置的喷嘴喷射的流体冲洗晶圆的表面；所述摆动驱动部设置于所述冲洗管的端部，其驱动冲洗管转动，使得喷嘴朝向所述清洗辊的外周侧喷射流体，以冲洗清洗辊附着的颗粒物。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113327841 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 202110588299.7 B08B 3/12 (2006.01) (22)申请日 2021.05.

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