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本发明公开了一种光伏用多晶硅消泡式制绒方法,属于多晶硅加工技术领域,本发明可以通过改变传统的酸溶制绒方式,通过贴覆消泡囊来形成隔离环境充分制绒,避免酸性成分挥发,并且在制绒过程中通过微量吸收的方式,同步发生化学反应,从而生成气体引起消泡囊的扰动,一方面利用扰动加速多晶硅表面气泡的破裂,不易出现积聚现象,同时利用产生的气体同时形成气泡的不稳定性来引起其余气泡的共振破裂,从而显著提高消泡结果,另一方面利用消泡囊扰动过程中对酸溶液的挤压,从而提高其对多晶硅的腐蚀效果,与现有技术相比,本发明可以有效控制
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113299791 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 202110401039.4 H01L 31/0236 (2006.01)
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