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2023-06-20 发布于四川
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一种超窄线宽的二氧化硅平板光波导可调谐微环谐振器及其制备方法.pdf

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一种超窄线宽的二氧化硅平板光波导可调谐微环谐振器及其制备方法，属于片上光互连网络技术领域。从下至上，由硅衬底、二氧化硅下包层、二氧化硅芯层波导、二氧化硅上包层和调制电极组成；二氧化硅芯层波导位于二氧化硅下包层和二氧化硅上包层之间，由微环谐振部分和可调谐耦合器部分组成。其中，微环谐振部分由第一弯曲波导、直波导和第二弯曲波导组成，形成跑道型结构；可调谐耦合器部分由第一3dB定向耦合器、第一调制臂、第二调制臂和第二3dB定向耦合器组成，形成MZI结构。本发明通过对可调谐耦合器调制臂正上方的调制电极施加

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113325518 B (45)授权公告日 2022.06.14 (21)申请号 202110597848.7 审查员黄金龙 (22)申请日 2021.05.31

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