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- 2023-06-20 发布于四川
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本发明涉及光刻胶树脂技术领域，且公开了一种由1,3二羟基丙酮二聚体合成的主链可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法和应用，所述主链可降解型树脂单体的结构通式为：其中，R1为氢或者甲基，R2为烷基或者环烷基，M为二价的连接基团，或者R2与M形成脂肪环。该由1,3二羟基丙酮二聚体合成的主链可降解型光刻胶树脂单体,在与其它单体形成聚合物时能够产生交联，形成网状结构，有利于增加抗蚀性，并且所述树脂单体结构中含脂肪环，进一步增加了抗蚀性，树脂单体中的极性环氧结构也有助于改善树脂与晶圆的粘附性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113321663 B
(45)授权公告日 2022.07.22
(21)申请号 202110694995.6 G03F 7/027 (2006.01)
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