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服务器通过将符合规格的第一处理腔室的一个或多个传感器的第一组输入时序数据馈送到神经网络来训练神经网络，以产生相对应的第一组输出时序数据。服务器计算第一误差。服务器将第二组输入时序数据从与被测试的第二处理腔室相关联的相对应的一个或多个传感器馈送到经训练的神经网络，以产生相对应的第二组输出时序数据。服务器计算第二误差。响应于第二组输入时序数据和相对应的第二组输出时序数据之间的第二误差与第一组输入时序数据和相对应的第一组输出时序数据之间的第一误差之间的差等于或超过阈值量，服务器声明被测试的第二处理腔室
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113330463 A
(43)申请公布日 2021.08.31
(21)申请号 202080010448.5 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理
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