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半导体图像传感器的像素及制造像素的方法.pdfVIP

半导体图像传感器的像素及制造像素的方法.pdf

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    一种具有增强的量子效率的像素(1)，其包括半导体主体(2)，该半导体主体具有被配置作为入射表面的第一表面(3)和被配置为用于捕获入射在第一表面(3)上的光的光捕获区域(4a)。该像素还包括结构化界面(5)、在半导体主体的垂直于第一表面(3)的至少两个表面(7)上的隔离层(6)以及滤光元件(8)，该滤光元件布置在与第一表面(3)相距一定距离处，使得以小于临界角(αc)的入射角度(α)入射到第一表面(3)上的光照射到滤光元件(8)上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113302741 A (43)申请公布日 2021.08.24 (21)申请号 201980082963.1 (74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事

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