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喷头及包括该喷头的基板处理装置.pdfVIP

喷头及包括该喷头的基板处理装置.pdf

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    本发明涉及一种利用配合单元而将喷头固定在侧壁上，从而能够防止侧壁与喷头的脱离现象的喷头及包括该喷头的基板处理装置。根据本发明的喷头，利用配合单元而将喷头固定于侧壁，从而即使辅助槽的直径因热膨胀而变大，也通过配合单元的第二端部而防止配合单元从辅助槽脱落的现象，因此能够提高侧壁和喷头的配合力，即使在进行维修保养作业的情况下，也不会发生辅助槽变大的问题，且具有只要切割配合单元的第二端部就能够容易地更换侧壁的优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113302729 A (43)申请公布日 2021.08.24 (21)申请号 201980088841.3 (74)专利代理机构 北京弘权知识产权代理有限

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