一种用于高能束加工的设备及二次电子探测方法.pdfVIP

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  • 2023-06-20 发布于四川
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一种用于高能束加工的设备及二次电子探测方法.pdf

本发明公开了一种用于高能束加工的设备,包括数控平台和焊舱,数控平台的上方架设有高能束发生器,高能束发生器的下端发射口处设有聚焦系统,数控平台上固定有下端二次电子收集器,下端二次电子收集器与高能束发生器之间设有上端二次电子收集器,上端二次电子收集器和下端二次电子收集器均设有多块采集板和定值电阻,上端二次电子收集器和下端二次电子收集器均电性连接有示波器,示波器电性连接有控制器,控制器电性连接有显示器,示波器和控制器均电性连接有电源。本发明的有益效果是:实现对加工工件上、下表面二次电子方向与分布的探测

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113325017 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202110612421.X (22)申请日 2021.06.02 (71)申请人 苏州

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