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一种大尺寸面板钼靶的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-20 发布于四川
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一种大尺寸面板钼靶的制备方法.pdf

    本发明提供一种大尺寸面板钼靶的制备方法，所述制备方法包括：对靶材以及背板进行粗铣处理以及精铣处理；将所述靶材以及背板进行钎焊；所述钎焊后依次进行校正处理、烘干、抛光以及喷砂处理。所述制备方法可以提高钼靶与本背板的结合率，提高产品的合格率，减少资源浪费。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113319539 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202110719939.3 (22)申请日 2021.06.28 (71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司

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