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提供剥离装置,在将保护部件从晶片剥离时,不会发生晶片破裂或糊料残留,并且在不会花费无用的时间的情况下将保护部件从晶片剥离。剥离装置将保护板状工件的一个面的保护部件从该一个面剥离,其包含剥离单元,该剥离单元对覆盖保持单元的保持面所保持的板状工件的该一个面的保护部件的外周部分进行把持,将该保护部件从该板状工件的外周朝向中央剥离,并进一步从中央向该外周的相反侧的外周进行剥离。剥离单元包含:把持部,其对该保护部件的外周部分进行把持;移动单元,其使该把持部从该保持面的外周通过中心向远离中心的方向在一条直线
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113299580 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110187593.7
(22)申请日 2021.02.18
(30)优先权数据
2020-0281
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