一种光学透镜镀膜的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-20 发布于四川
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本发明公开了一种光学透镜镀膜的方法,包括透镜、载玻片、磁控溅射镀膜机、Zn:Al、纯钨靶、真空溅射室、氩、氧气、过硫酸钾、化学溶液、氢氧化锂、二氧化硅,真空溅射室真空度为:3×10‑3pa,溅射气压为1pa,化学溶液为丙稀酰胺和甲基丙磺酸制备而成,在真空溅射室采用溅射镀膜机以载玻片为基片,其中溅射靶材为Zn:Al和纯钨靶,通过氩和氧气混合气体为工作气体,衬底温度为室温,溅射功率为100+W进行制备薄膜A;本发明一种光学透镜镀膜的方法采用薄膜A和薄膜B进行制备基础载体,并通过凝胶状离子导体进行保证

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113325491 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202110595877.X (22)申请日 2021.05.29 (71)申请人 河南鸿恒信息技术有限公司

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