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本发明公开了一种基板的铜互连钴阻挡层，其通过包括以下步骤的化学机械抛光方法抛光：a.配置化学机械抛光液，其中，所述化学机械抛光液含有1～10％的胶体二氧化硅、1‑20mM/L的过硫酸钾、1‑20mM/L的苯并三氮唑以及余量的水和pH调节剂，使得所述抛光液pH值为10‑11；b.以100‑300mL/min的流量向化学机械抛光垫散布抛光液并对承载头施加1‑2psi的压力，对基板的铜互连钴阻挡层结构进行60‑120s的化学机械抛光作业。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113278366 B
(45)授权公告日 2022.05.20
(21)申请号 202110774652.0 (51)Int.Cl.
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