- 1、本文档共12页,其中可免费阅读11页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种基于定向耦合结构的硅基光波导滤模器及其制备方法,属于集成光电子学技术领域。由硅衬底,二氧化硅上、下包层,位于上、下包层间的两个结构参数相同的硅芯层输入波导Core1和输出波导Core2组成;输入波导Core1和输出波导Core2为少模波导,可以同时传输E11、E21、E31三种模式;输入波导Core1和输出波导Core2均为截面为矩形的直波导结构;通过设计硅芯层输入波导Core1和输出波导Core2的尺寸、两根波导间的波导间距和耦合长度,可以实现特定模式的滤波功能。本发明制备方法简单,不需要
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113296189 B
(45)授权公告日 2022.04.26
(21)申请号 202110549167.3 G02B 6/136 (2006.01)
(22)申请日
文档评论(0)