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一种基于定向耦合结构的硅基光波导滤模器及其制备方法.pdf

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    一种基于定向耦合结构的硅基光波导滤模器及其制备方法，属于集成光电子学技术领域。由硅衬底，二氧化硅上、下包层，位于上、下包层间的两个结构参数相同的硅芯层输入波导Core1和输出波导Core2组成；输入波导Core1和输出波导Core2为少模波导，可以同时传输E11、E21、E31三种模式；输入波导Core1和输出波导Core2均为截面为矩形的直波导结构；通过设计硅芯层输入波导Core1和输出波导Core2的尺寸、两根波导间的波导间距和耦合长度，可以实现特定模式的滤波功能。本发明制备方法简单，不需要

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113296189 B (45)授权公告日 2022.04.26 (21)申请号 202110549167.3 G02B 6/136 (2006.01) (22)申请日

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