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本申请提供了一种经时击穿测试设备和方法，该设备包括第一连接端和第二连接端，第一连接端和第二连接端分别用于连接待测结构的第一端和第二端，其中，第二连接端接地，第一连接端通过测试开关连接第一电压源，第一电压源用于提供测试电压，测试开关在对待测结构进行测试时导通，在待测结构被击穿后短路时限制电流，从而可以节约电能和测试时间，降低了设备的耗能成本和测试的时间成本，避免待测结构被击穿短路后还短接着电压源。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113295981 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110566345.3
(22)申请日 2021.05.24
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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