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根据本发明的一实施例，超声键合装置可以包括：加压部，生成在第一方向上振动的超声波；主体部，配置在所述加压部上，且具有相对于所述第一方向倾斜了预定角度的下表面；凸轮部，配置在所述加压部与所述主体部之间；以及框架部，与所述凸轮部以及所述主体部的所述下表面连接，且沿着所述主体部的所述下表面移动来控制所述凸轮部的高度。随着所述框架部的移动，所述凸轮部与所述加压部的上表面可以选择性地接触。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113314429 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202010883099.X
(22)申请日 2020.08.28
(30)优先权数据
10-2020-0
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