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本发明适用于太阳能电池技术领域,提供了一种选择性接触区域掩埋型太阳能电池及其背面接触结构,该背面接触结构包括间隔设置于硅衬底背面的凹槽;交替设置在各个凹槽中的第一导电区和第二导电区,第一导电区包括依次设置于凹槽上的第一电介质层和第一掺杂区域,第二导电区包括第二掺杂区域;设置于第一导电区和第二导电区之间的第二电介质层,第二电介质层为至少一层;及设置在第一导电区和所述第二导电区上的导电层。本发明中提供的背面接触结构,解决了现有对于沟槽宽度控制要求高及钝化效果差的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113299772 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110627514.X H01L 31/18 (2006.01)
(22)申请日 2
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