- 1、本文档共12页,其中可免费阅读11页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了高硼组分二维III族多元氮化物混合晶体及其制备方法。该方法为低压化学气相沉积方法,设置级联式递进三温区结构,并于中段梯度温区进行加速混晶分子的气相预替位,实现高效可控二维混晶。本发明制备的高硼组分二维III族多元氮化物混合晶体表面平整性好,用于器件结构中的层间匹配度高,混合晶体中的硼组分高;可作为优良衬底用于制备高质量InAlGaN等多元氮化物半导体,制备性能优良的中子探测器、深紫外LED、深紫外探测器;可广泛应用于紫外固化光源、紫外光通信、紫外空气净化、紫外医疗、紫外水净化、紫外光
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113380603 B
(45)授权公告日 2022.05.17
(21)申请号 202110541046.4
(22)申请日 2021.05.18
(65)同一申请的已公布的文献号
您可能关注的文档
- 一种基于BIM的建筑模型自动匹配方法及系统.pdf
- 一种无气味不易燃反应型双组分标线涂料及其制备方法.pdf
- 一种基于JBOF的视频数据处理方法和装置.pdf
- 一种基于锂基凹凸棒土的水性多彩涂料及其制备方法.pdf
- 一种黑臭水体治理设备及黑臭水体治理方法.pdf
- 一种快装式且便于拆装维护的变频器.pdf
- 半导体器件及其制备方法.pdf
- 一种光电协同催化合成硅基取代的苯并咪唑并异喹啉酮类化合物的方法.pdf
- 一种基于随机变换和小波重构的信号对抗样本检测方法.pdf
- 基于生成式对抗网络的信号调制类型识别攻击的防御方法.pdf
- 中国国家标准 GB/T 22517.2-2024体育场地使用要求及检验方法 第2部分:游泳场地.pdf
- GB/T 22517.2-2024体育场地使用要求及检验方法 第2部分:游泳场地.pdf
- 《GB/T 22517.2-2024体育场地使用要求及检验方法 第2部分:游泳场地》.pdf
- 苏教版(2017秋)科学三年级下册1.《种子发芽了》 教案(含课堂练习和反思).docx
- 2024-2025学年小学数学六年级上册冀教版(2024)教学设计合集.docx
- 地理商务星球版七年级上册4.5形成气候的主要因素 同步教案.docx
- 2024-2025学年中职中职专业课金融类73 财经商贸大类教学设计合集.docx
- 2024-2025学年初中地理七年级上册(2024)仁爱科普版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学英语二年级上册外研版(一起)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年高中数学选择性必修 第二册北师大版(2019)教学设计合集.docx
文档评论(0)