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三轴磁阻磁场传感器及制作方法.pdfVIP

三轴磁阻磁场传感器及制作方法.pdf

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    本发明公开一种三轴磁阻磁场传感器及制作方法，包括：磁阻传感单元和导线连接电路；所述的磁阻传感单元进一步包括磁阻单元和传感单元，所述的磁阻单元由磁阻膜堆制成，传感单元由一个或多个磁阻单元组成。本发明优点在于：单一膜堆制成三轴传感器，成本低。同步光刻和刻蚀，简单的工艺步骤完成三轴传感器的器件加工。后期封装更为方便，可靠性强，且封装成本低。设计具有灵活性，根据不同应用，易于设计传感器的灵敏度和测量范围。磁传感器结构简单，易于集成。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113341354 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110474811.5 (22)申请日 2021.04.29 (71)申请人 北京航空航天大学 地址

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